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玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具
簡要描述：

玉崎科學(xué)ONYX 3000半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具

混合 XRF 和光學(xué)計量 FAB 工具
能量色散X射線熒光光譜儀（ED-XRF），能夠以無損、非接觸的方式同時分析300mm和200mm晶圓上各種薄膜的厚度和成分。

  • 產(chǎn)品型號：ONYX 3000
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2024-09-29
  • 訪  問  量：240

詳細(xì)介紹

玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具

玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具


ONYX 3000 特點

Microspot X 射線束和模式識別
器件結(jié)構(gòu)的 2D 和 3D 光學(xué)特性
高通量、全面和生產(chǎn)晶圓測量
廣泛的材料和應(yīng)用
高分辨率和精確度覆蓋從埃到微米的厚度
輕元素靈敏度的氦氣吹掃測量環(huán)境
可配置用于小于 300mm 的晶圓
基于SEMIS2和SEMIS8的設(shè)計

ONYX 3000 規(guī)格

產(chǎn)品名稱瑪瑙
方法X 射線熒光和光學(xué)顯微鏡
目的測量從超薄單層薄膜到多層薄膜的所有材料。 BEOL 和 WLP 結(jié)構(gòu)的表征
技術(shù)處理微點 EDXRF 和 2D、3D 光學(xué)顯微鏡
主要部件SEMIS2和SEMIS8，基于微點多毛細(xì)管X射線光學(xué)器件的設(shè)計
選項SECS/GEM通訊軟件、COLORS光束模塊
控制（電腦）內(nèi)部 PC、MS Windows® 操作系統(tǒng)
機身尺寸1390（寬）×2040（高）×2960（深）毫米
大量的1250公斤（身體）
電源單相 208 VAC 50/60 Hz，16A
























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